薄片的步进式投影曝光装置 wafer stepper projection system
步进扫描投影对准曝光器 step and scan projection aligner
步进式投影曝光装置 Projection stepper
投影式对准曝光装置 projection printer; projector; projection aligner
镜面投影对准曝光器 mirror projection aligner
扫描型投影对准曝光器 scanning projection aligner
投影对准曝光器 projection aligner
透镜投影对准曝光器 lens projection aligner
远紫外线投影曝光对准器 deep uv projection aligner
接近式对准曝光器 Proximity aligner; proximity printer
光对准曝光器 optical aligner
步进式曝光 step printing
步进式曝光蚀刻 optical stepper lithography
同步加速器放射线对准曝光器 synchrotron radiation aligner
扫描式投影曝光 scanning projection printing
收缩式投影曝光装置 reduction aligner
大型液晶显示基板对准曝光器 aligner for large liquid crystal display substrate
基板上下两面对准曝光器 double sided aligner
镜面透镜对准曝光器 mirror lens projection aligner