DBD等离子体反应器 DBD plasma reactor
多圆片等离子体反应器 multiwafer plasma reactor
填充床放电等离子体反应器 packed-bed discharge plasma reactor
微小等离子体反应器 Microplasma reactor
圆柱形等离子体反应器 cylindrical plasma reactor
等离子体氧化反应器 oxide reactor
ECR微波等离子体反应溅射 ECR sputtering
等离子反应器 plasma reactor
等离子体反应 plasma chemistry
等离子体反应堆 plasma reactor
等离子体离子辅助镀膜 plasma assisted deposition
等离子体离子源 plasma ion implantation
等离子体离子振荡 plasma ion oscillation
等离子体离子注入 plasma ion implantation
电子回旋共振微波反应等离子体 ECR electron cyclotron resonance plasma
氦离子等离子体 He plasma
激光等离子体反应 Laser plasma reaction
离子等离子体频率 ion plasma frequency
微波等离子体离子化检测器 microwave induced plasma ionization detector